Trichlorfluorsilan
Trichlorfluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung des Siliciums aus der Gruppe der Siliciumtetrahalogenide.
| Strukturformel | ||||||||||
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| Allgemeines | ||||||||||
| Name | Trichlorfluorsilan | |||||||||
| Andere Namen |
Siliciumtrichloridfluorid | |||||||||
| Summenformel | SiCl3F | |||||||||
| Kurzbeschreibung |
farbloses Gas[1] | |||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||
| Molare Masse | 153,43 g·mol−1 | |||||||||
| Aggregatzustand |
gasförmig[1] | |||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||
| Siedepunkt |
12 °C[1] | |||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | ||||||||||
Gewinnung und Darstellung
Trichlorfluorsilan (wie auch andere Fluorchlorsilane) kann durch Reaktion von Natriumhexafluorosilicat und Aluminiumchlorid oder durch Halogenaustausch in Siliciumtetrachlorid mit Antimon(III)-fluorid und Antimon(V)-chlorid als Katalysator gewonnen werden.[1]
Eigenschaften
Trichlorfluorsilan ist ein farbloses, sehr hydrolyseempfindliches Gas.[1]
Verwendung
Trichlorfluorsilan kann in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Siliciumschichten verwendet werden.[3]
Einzelnachweise
- Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 679.
- Dieser Stoff wurde in Bezug auf seine Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.
- Google Patente: Patent US7030260 - Preparation of mixed-halogen halo-silanes, abgerufen am 5. Januar 2014.
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