KLA-Tencor
KLA-Tencor ist ein weltweites Unternehmen aus den Vereinigten Staaten, das Geräte zur Waferinspektion und Produktionsüberwachung herstellt. Der Hauptsitz des Unternehmens befindet sich in Milpitas, Kalifornien. Das Unternehmen ist börsennotiert im amerikanischen NASDAQ unter dem Kürzel KLAC.
KLA Tencor | |
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Rechtsform | Corporation |
ISIN | US4824801009 |
Gründung | Mai 1997 |
Sitz | Milpitas, Kalifornien |
Leitung | Richard P. (Rick) Wallace (CEO) |
Mitarbeiterzahl | 5,990 (Stand 30. Juni 2017)[1] |
Umsatz | 3,48 Mrd. US$ (2017)[1] |
Branche | Maschinenbauer für die Halbleiterindustrie |
Website | www.kla-tencor.com |
Die von KLA-Tencor hergestellten Geräte messen beispielsweise Waferkrümmung, Waferrauheit, Oberflächendefekte, den Overlay-Versatz oder Eigenschaften von dünnen Filmen, die auf den Wafer aufgebracht wurden (z. B. Dicke und Brechungsindex). Entwicklung und Produktion finden statt in Milpitas und den Niederlassungen in Deutschland (Weilburg), Singapur, Israel, Hongkong und China (Shanghai und Shenzhen).[2]
Zu den größten Kunden gehören die Halbleiterhersteller TSMC, Samsung, Intel und Micron Technology.[1]
Geschichte
KLA-Tencor entstand im Jahr 1997 durch die Fusion von KLA Instruments und Tencor Instruments.[3] Beide Unternehmen hatten Geräte zur Verbesserung der Halbleiterproduktion hergestellt: KLA Instruments produzierte seit 1977 Maschinen zur automatischen Prüfung von Photomasken, während die im Jahr 1977 gegründete Tencor Instruments Maschinen zur Ausbeuteverbesserung herstellte.
Eine im Jahr 2015 abgegebenes Übernahmeangebot durch den Konkurrenten Lam Research wurde ein Jahr später wegen wettbewerbsrechtlicher Bedenken des Justizministerium der Vereinigten Staaten zurückgezogen.[4][5]
Einzelnachweise
- Annual Report 2017. (PDF) KLA-Tencor, 21. September 2017, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch).
- Factsheet. KLA-Tencor, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch).
- Company Overview. KLA-Tencor, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch).
- Marc Sauter: Lithographie: KLA-Tencor und Lam Research fusionieren zu größtem Ausrüster. In: Golem.de. 26. Oktober 2015, abgerufen am 9. Januar 2018.
- Chip equipment maker Lam Research calls off KLA-Tencor deal. Reuters, 6. Oktober 2016, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch).