Wolframdisilicid

Strukturformel
	_ W 0 _ Si
Allgemeines
Name	Wolframdisilicid
Andere Namen	Wolframsilicid (mehrdeutig)
Summenformel	WSi2
Kurzbeschreibung	blau grauer Feststoff[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	234-909-0
ECHA-InfoCard	100.031.723
PubChem	16212546
Wikidata	Q414364
Eigenschaften
Molare Masse	240,01 g·mol−1
Aggregatzustand	fest[2]
Dichte	9,3 g·cm−3[1]
Schmelzpunkt	2160 °C[1]
Löslichkeit	nahezu unlöslich in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [2]	keine GHS-Piktogramme
	keine GHS-Piktogramme
H- und P-Sätze	H: keine H-Sätze
	P: keine P-Sätze
	Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃[3].

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.[4]

\mathrm {2\ SiH_{4}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+H_{2}}

\mathrm {2\ SiH_{2}Cl_{2}+WF_{6}+3\ H_{2}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+2\ HCl}

\mathrm {Si_{2}H_{6}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF}

Eigenschaften

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid[5] bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139)Vorlage:Raumgruppe/139.[6]

Verwendung

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.[7][8]

Einzelnachweise

W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4–96 (englisch, eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).
Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nummer: 12039-95-1, EG-Nummer: 234-912-7, ECHA-InfoCard: 100.031.726, PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, Wikidata: Q82897389.
Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

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[CRC-1] W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4–96 (englisch, eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Sigma-2] Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).

[3] Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nummer: 12039-95-1, EG-Nummer: 234-912-7, ECHA-InfoCard: 100.031.726, PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, Wikidata: Q82897389.

[Hugh_O._Pierson-4] Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Peter_Paetzold-5] Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Werner_Martienssen,_Hans_Warlimont-6] Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Horst_Briehl-7] Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[R._A._Levy-8] R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).