Hexachlordisilan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Hexachlordisilan
Andere Namen	1,1,1,2,2,2-Hexachlordisilan; Disiliziumhexachlorid; HCDS;
Summenformel	(SiCl3)2
Kurzbeschreibung	farblose Flüssigkeit[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	236-704-1
ECHA-InfoCard	100.033.353
PubChem	83497
Wikidata	Q15546028
Eigenschaften
Molare Masse	268,89 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig[1]
Dichte	1,562 g·cm−3 (25 °C)[1]
Schmelzpunkt	2,5 °C[2]
Siedepunkt	144–145,5 °C[1]
Brechungsindex	1,475 (20 °C)[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Gefahr
H- und P-Sätze	H: 314
	P: 280‐305+351+338‐310 [1]
	Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C

Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane Si_nCl_2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.[2]

\mathrm {CaSi_{2}+4\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}+CaCl_{2}}

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.[2]

\mathrm {2\ SiCl_{2}+Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}}

\mathrm {2\ Si+3\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}}

Eigenschaften

Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.[2]

Verwendung

Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.[3]

Einzelnachweise

Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).
Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.
Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.

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[Sigma-1] Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).

[brauer-2] Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.

[Spezialchemie-3] Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.