Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), auch »Fraunhofer IPMS« genannt, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft und hat seinen Sitz in Dresden. Seine Aktivitäten sind der angewandten Forschung und Entwicklung in den Fächern Mikrosystemtechnik, Halbleiterphysik, Mikroelektronik, Elektronik-Design und Photophysik (v. a. Photonik, Optik und Nanotechnologie) zuzuordnen.
| Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme | |
|---|---|
| Kategorie: | Forschungseinrichtung |
| Träger: | Fraunhofer-Gesellschaft |
| Rechtsform des Trägers: | Eingetragener Verein |
| Sitz des Trägers: | München |
| Standort der Einrichtung: | Dresden |
| Art der Forschung: | Angewandte Forschung |
| Fächer: | Ingenieurwissenschaft |
| Fachgebiete: | Mikrosystemtechnik, Halbleiterphysik |
| Grundfinanzierung: | Bund (90 %), Länder (10 %) |
| Leitung: | Hubert Lakner, Geschäftsführender Institutsleiter Harald Schenk, Institutsleiter[1] |
| Mitarbeiter: | ca. 350 (Stammpersonal) |
| Homepage: | www.ipms.fraunhofer.de |
Forschung und Entwicklung
Das Institut hat spezielle Kompetenzen in der Nutzung von Mikrosystemen (MEMS, MOEMS, CMOS) mit innovativen Systemeigenschaften.
Das Institut ist Teil des Fraunhofer-Verbundes Mikroelektronik VµE und engagiert sich in zahlreichen regionalen und internationalen Netzwerken der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik.
Die Forschungsschwerpunkte im Überblick:
Mikroscannerspiegel
Die hier entwickelten Mikroscannerspiegel zeichnen sich besonders durch einen großen Scanbereich, geringe Chipgröße, geringe Leistungsaufnahme sowie exzellente elektro-mechanische und mechanische Eigenschaften aus. Das Fraunhofer IPMS beschäftigt sich u. a. mit anwendungsspezifischen Scannern z. B. für FTIR-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).
Flächenlichtmodulatoren
Flächenlichtmodulatoren werden von Spiegelarrays mit bis zu 1 Million Mikrospiegeln auf einem Halbleiterchip gebildet. Jeder Spiegel lässt sich durch die integrierte Ansteuerschaltung individuell kippen oder absenken. Diese Systeme können z. B. Wellenfrontstörungen in weiten Spektralbereichen korrigieren und damit die Wiedergabequalität von Bildern verbessern. Darüber hinaus sind die Bauelementefunktionalitäten besonders in der Augenheilkunde, Astronomie und Mikroskopie sowie bei räumlicher und zeitlicher Laserstrahl- und Pulsformung sehr gefragt.
Sensor & Aktorsysteme
Die am Institut entwickelten Systeme kombinieren selbstentwickelte Sensoren und Aktoren mit kommerziell erhältlichen Komponenten zu Systemen mit geringsten Baugrößen. Neben der Hardware schließen die angebotenen Leistungen auch Softwareentwurf sowie optisches Systemdesign mit ein.
Photonische Systeme
Das Institut entwickelt komplette kundenspezifische photonische Systemlösungen. Diese umfassen die Integration aller Systemkomponenten (MEMS, MOEMS, CMOS, Elektronik, Optik und Software) basierend auf den im Fraunhofer IPMS entwickelten mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays. Bei der Vielzahl möglicher Anwendungen hervorzuheben sind die spektral aufgelöste optische Signalerfassung und -verarbeitung sowie die Realisierung ultra-kompakter Systeme für Displays und Bilderfassung.
Drahtlose Mikrosysteme
Das Institut entwickelt Mikrosysteme zur drahtlosen Datenübertragung. Dies umfasst die Entwicklung von drahtlosen RFID-Sensor-Systemen und Modulen zur optischen Kommunikation, auch als Li-Fi bekannt.[2]
Infrastruktur
Am Institut arbeiten rund 350 Mitarbeiter. Das Institut wird von Hubert Lakner und Harald Schenk geleitet.
Es unterhält zwei Reinräume der Reinheitsklasse 10 (US-Standard) mit insgesamt knapp 2.500 m² Fläche. Der im September 2007 eingeweihte Reinraum für Mikrosysteme ist das Herzstück der Mikrosystementwicklung und -fertigung. Hier stehen auf 1.500 m² modernste Anlagen für die Waferverarbeitung zur Verfügung.
Kooperationen
Das Fraunhofer IPMS ist Mitglied des Wissenschaftsverbundes DRESDEN-concept, das im Rahmen Zukunftskonzeptes der TU Dresden 2010 gegründet wurde und die Zusammenarbeit Dresdener Forschungseinrichtungen verschiedener Fachrichtungen fördert.[3]
Einzelnachweise
- https://www.ipms.fraunhofer.de/de/about/management.html
- Drahtlose Mikrosysteme – Fraunhofer IPMS. Abgerufen am 13. November 2017.
- dresden-concept.de: Partner von DRESDEN-concept. Abgerufen am 13. Februar 2019.