Sprühpyrolyse

Die Sprühpyrolyse i​st eine Synthesestrategie i​n der anorganischen Chemie. Hierbei w​ird im Rahmen d​es Sol-Gel-Verfahrens e​in Substrat d​urch einen Zerstäuber a​uf eine beheizte Oberfläche gesprüht u​nd reagiert d​ort mit selbiger. Mit diesem Verfahren i​st es möglich, dünne Schichten a​uf ebenen Flächen z​u fixieren.[1]

Geschichte

Die Sprühpyrolyse w​urde 1966 v​on Chamberlin u​nd Skarman erfunden, u​m Cadmiumsulfid u​nd andere Sulfide bzw. Selenide a​ls dünne Schichten darstellen z​u können. Seit 1966 h​at sich d​ie Dünnschichtchemie rapide weiterentwickelt.[1]

Einzelnachweise
  1. Joy Georg und Twig Georg (Hrsg.): Preparation of Thin Films. 1. Auflage. Marcel Dekker Inc, 1992, ISBN 978-0-88167-764-5, S. 340 ff.
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