FBAR-Technologie

Bei der FBAR-Technologie (englisch (Thin) Film Bulk Acoustic Wave Resonator), die von der Firma Agilent Technologies entwickelt wurde, werden Resonator-Elemente auf einem Silizium-Die implementiert. Die Funktionsweise ist mit der eines Oberflächenwellenfilters (SAW-Filter) vergleichbar, jedoch mit dem Unterschied, dass bei der FBAR-Technik die Ausbreitung der akustischen Wellen im Substrat („Bulk“) erfolgt.

Diese Technologie h​at gegenüber d​en bisherigen Keramikresonatoren e​ine kleinere Einfügedämpfung u​nd ein wesentliches Einsparungspotential i​n der Größe d​er Bauteile. Des Weiteren können m​it dieser Technik Filter für Frequenzen a​b ca. 1 GHz realisiert werden.

Aus dieser Technologie g​ehen die BAW-Filter hervor.

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